碳化硅粗抛光液       

优点：1、抛光速率大于2.5μm/h。 2、抛光表面平整光滑，无明显划伤。3.寿命长

应用：不同尺寸高纯半绝缘体4H-SiC，N型4H-SiC等晶圆抛光。

碳化硅精抛液       

优点：1、抛光表面质量好，表面粗糙度Ra<0.15μm。2、去除效率高，抛光速率大于1μm/h。3、易清洗。

应用：不同尺寸高纯半绝缘体4H-SiC，N型4H-SiC等晶圆精抛。