LT-01钽酸锂抛光液        

优点：1、抛光速率大于15μm /h。 2、抛光表面平整光滑，无明显划伤，表面粗糙度达到0.2nm以下。 3、这是一款酸性抛光液，有较快的抛光速率。

应用：4寸钽酸锂等晶圆抛光。

LT-02钽酸锂抛光液   

优点：1、抛光速率大于10μm/h 。2、抛光表面平整光滑，无明显划伤，表面粗糙度达到0.15nm以下。 3.这是一款碱性抛光液，可以获得好的表面。

应用：4寸钽酸锂晶圆等的精抛。